一、實驗目的

1.驗證潔凈操作間的微粒濃度是否持續(xù)符合ISO 8級潔凈度標準（0.5μm微粒≤352000個/m3，5.0μm微粒≤2930個/m3），保障實驗環(huán)境穩(wěn)定性。

2.評估HEPA過濾器的過濾效率（需≥99.97%）及潔凈工作臺的凈化性能，確認關鍵設備是否正常運行。

3.建立潔凈環(huán)境微粒濃度異常的溯源方法，為后續(xù)污染應急處理提供依據(jù)。

二、使用的儀器和設備

1.普洛帝在線空氣粒子計數(shù)器：型號DPC--2602，最小檢測粒徑0.3μm，采樣流量2.83L/min，支持數(shù)據(jù)自動存儲與超標報警（3臺，分別布設在關鍵點位）。

2.普洛帝便攜式空氣粒子計數(shù)器：型號DPC--2602，最小檢測粒徑0.1μm，采樣流量1L/min，支持手持移動檢測（1臺，用于設備驗證與異常溯源）。

3.輔助工具：溫濕度計（監(jiān)測環(huán)境溫濕度，確保檢測條件穩(wěn)定：溫度20-25℃，濕度45%-65%）、采樣管（長度1m，用于HEPA過濾器進/出風口檢測）、數(shù)據(jù)記錄儀（配套在線式計數(shù)器，存儲7天監(jiān)測數(shù)據(jù)）。

三、實驗檢測數(shù)據(jù)

1.日常監(jiān)測數(shù)據(jù)（單位：個/m3）

監(jiān)測時段 操作臺上方（0.8m）  人員呼吸帶（1.5m）  通風口下方（1m）

0.5μm 5.0μm 0.5μm 5.0μm 0.5μm 5.0μm

第1天8:00 285000 2100 292000 2250 278000 2050

第1天14:00 301000 2300 315000 2400 290000 2200

第1天 20:00 276000 2000 288000 2150 265000 1980

2.設備驗證數(shù)據(jù)

- HEPA過濾器：進風口0.5μm微粒濃度1250000個/m3，出風口0.5μm微粒濃度2800個/m3，過濾效率=（1-2800/1250000）×100%≈99.78%。

- 潔凈工作臺：5個監(jiān)測點0.5μm微粒濃度分別為3200、3150、3300、3250、3180個/m3，均符合ISO 5級標準（≤3520個/m3）。

四、實驗結論

1.潔凈操作間日常監(jiān)測的0.5μm和5.0μm微粒濃度均低于ISO 8級標準限值，且7天內(nèi)數(shù)據(jù)波動較小（0.5μm波動范圍260000-320000個/m3），說明潔凈環(huán)境整體穩(wěn)定，滿足實驗需求。

2.HEPA過濾器過濾效率約99.78%，略低于標準要求（≥99.97%），需及時更換過濾器以保障凈化效果；潔凈工作臺各監(jiān)測點微粒濃度符合ISO 5級標準，設備運行性能正常。

3.異常溯源實驗表明，潔凈間門開啟是導致微粒濃度超標的主要原因，且污染從門口向內(nèi)部擴散，關閉門后30分鐘環(huán)境可恢復正常，后續(xù)需加強人員操作規(guī)范，減少門開啟時間與頻次。