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UP-200超純水液體粒子計數器半導體晶圓與高壓變電器清洗雙場景應用案例

更新時間:2026-06-05   點擊次數:371次

在半導體制造領域,晶圓清洗環節是決定芯片良率的關鍵步驟之一。某集成電路生產企業在引線框架及單晶硅切割工藝中,對清洗用超純水的顆粒度控制極為嚴格。傳統檢測方式多依賴人工取樣后送實驗室分析,周期長、數據滯后,難以滿足產線實時管控需求。該企業引入普洛帝UP-200超純水液體粒子計數器后,利用第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器,在產線旁實現了清洗液的在線顆粒監測。設備搭配精密計量柱塞泵與超精密流量電磁控制系統,采樣流量穩定,數據重復性好。經過三個月的運行,清洗液顆粒超標事件的響應時間從原來的數小時縮短至分鐘級別,產品潔凈度指標得到明顯改善。

除半導體場景外,UP-200同樣適用于高壓變電器清洗用水的離線檢測。某電力設備制造廠在變電器出廠前,需對內部絕緣件進行高壓沖洗,沖洗用水的顆粒度直接影響絕緣性能。技術人員使用UP-200對清洗用水進行離線采樣分析,設定0.3μm及以上粒徑通道進行計數,檢測報告可直接作為出廠質檢的依據。該案例體現了UP-200從水質檢測到工業清洗用水分析的跨場景適配能力。

在液晶顯示器及導電玻璃生產企業中,UP-200被用于工藝用水的日常抽檢。平板玻璃生產線對沖洗水中的微納米顆粒同樣敏感,設備的雙激光檢測方案能夠覆蓋從亞微米到數十微米的粒徑范圍,滿足不同產品線的檢測需求。

液體顆粒計數器2.png





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