半導體電子制造產線管控 普洛帝 PMT-2 液體顆粒計數器監測超純水微小顆粒完整應用說明超純水是芯片制造、PCB 加工、光學元件清洗環節的基礎工藝介質，水體內部微米、亞微米級固體顆粒會直接劃傷晶圓表面、造成線路短路，大幅降低電子產品良品率。行業對超純水雜質管控標準嚴苛，常規目視、簡易過濾稱重方式無法精準量化微小顆粒含量，普洛帝 PMT-2 液體顆粒計數器依靠光阻檢測原理，能夠穩定捕捉水體內部微量懸浮顆粒，成為超純水制程常態化監測的核心設備。

電子行業超純水制備分為多級過濾、EDI 提純、終端輸送管路三大環節，每一段流程都可能產生顆粒污染。過濾濾芯老化破損會釋放濾材碎屑，輸送管道內壁析出微量雜質，儲罐靜置過程會落入空氣中粉塵，這類細微污染物無法通過常規水質電導、電阻率指標體現，只能依靠顆粒計數設備量化。普洛帝 PMT-2 流通池采用高透光惰性材質，適配純水基介質檢測，不會與水體發生反應析出雜質，避免干擾樣品真實檢測結果。

產線日常監測分為離線取樣檢測與在線連續監測兩種模式。離線檢測時工作人員使用潔凈取樣容器采集終端出水口超純水，直接送入儀器檢測，設備可區分不同粒徑顆粒數量，同步輸出顆粒分布數據，工作人員依據數值判斷濾芯是否失效、管路是否存在積垢污染。在線機型可直接接入純水輸送管道，24 小時不間斷自動取樣檢測，實時推送顆粒數據，一旦顆粒數值超出管控閾值，可聯動過濾系統自動啟動沖洗程序，及時攔截污染水體流入生產工序。

超純水對檢測器具本底潔凈度要求，取樣、盛裝容器需經過多道超純水沖洗，消除容器自帶顆粒帶來的數據偏差。普洛帝 PMT-2 自帶自動清洗程序，每次檢測完成后用高純純水沖刷內部管路，杜絕前后樣品交叉污染，保障多批次水樣檢測數據具備可比性。長期持續監測超純水顆粒指標，能夠提前預判過濾耗材更換周期，減少因水質不達標造成的晶圓報廢，穩定半導體生產線整體良率，純水制備全流程質量管控體系。